机组的不同级别

净化级别不同，配置要求不同（可非标定做）

洁净度100级－－大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3 (3.5粒/L) ；大于等于5μm的尘粒数为0。

洁净度1000级－－大于等于0.5μm的尘粒数大于3500 粒/m3(3. 5粒/L)到小于等于35000粒/m3 (35粒/L) ；大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3 ( 0. 3粒/L) 。

洁净度10000级－－大于等于0.5μm的尘粒数大于35000 粒/m3(35粒/L)到小于等于350000粒/m3 (350粒/L) ；大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3 ( 0. 3粒/L)小于等于3000粒/m3 (3粒/L) 。

洁净度100000级－－大于等于0.5μm的尘粒数大于350000 粒/m3(350粒/L)到小于等于3500000粒/m3 (3500粒/L) ；大于等于5μm的尘粒数大于3000粒/m3 (3粒/L)小于等于30000粒/m3 (30粒/L) 。

洁净度300000级－－大于等于0.5μm的尘粒数大于3500000 粒/m3(3500粒/L)到小于等于10500000粒/m3 (10500粒/L) ；大于等于5μm的尘粒数大于30000粒/m3 (30粒/L)小于等于90000粒/m3 (90粒/L) 。